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一种晶圆生产用切割装置.pdfVIP

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  • 2023-04-17 发布于四川
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一种晶圆生产用切割装置.pdf

    本实用新型公开了一种晶圆生产用切割装置，包括加工台、切割刀片、夹块，所述加工台背面滑动连接有滑杆，所述滑杆底端转动连接有切割刀片，所述加工台上表面靠近中心处两侧均设置有夹块，所述滑杆靠近加工台中心处一端外围套接有集尘罩，所述集尘罩顶部固定安装有负压装置；本实用新型通过电机带动丝杆在活动槽内壁中转动，两个夹块底部通过滑块滑动连接于活动槽内壁两侧，从而使得两个夹块在丝杆上同向滑动，第一缓冲块通过一端的矩形块与第二缓冲块一端的矩形槽中减震弹簧贴合时起到缓冲减震效果，避免了待切割晶圆放置在第一缓冲块与第

    (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 215750102 U (45)授权公告日 2022.02.08 (21)申请号 202122429828.7 (22)申请日 2021.10.09 (73)专利权人 苏州军科域光电科技有限公司

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