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多晶硅精馏车间培训资料 培训内容精馏简介物料介绍原理及设备塔器及工艺流程操作安全1、 精馏简介 1.1精馏技术是现代传质理论在化学、化工过程工业分离领域中的一 项关键共性技术，广泛应用于石油炼制、石油化工、化学工业、精细化学 品、化肥工业、空气分离、原子能化工、环境保护、中药现代化和天然产 物分离等产品和工业过程。在提高产品的纯度和收益率、降低生产过程的 能耗和控制环境污染方面具有重要作用。对显著提升传统化工装置技术水 平、推动行业科技进步具有重要意义。1.2精馏单元简介 1.2.1多晶硅生产的工艺过程： 多晶硅生产的工艺过程简单概括为：三个化学反应，一系列的分馏提 纯，使冶金硅成为高纯度多晶硅的除杂过程。 在半导体硅的生产中，三氯氢硅或四氯化硅提纯是一个关键工序。 TCS合成工序产品有SiHCl3 （TCS），SiCl4 （STC），SiH2Cl2 （DCS）， CH3SiHCl2 （MDCS），BCl3，PCl3，PCl5，AlCl3，FeCl2，其中的杂质 （如硼），在物理提纯过程中很难除掉，对于其他杂质，物理提纯 也要耗费更多的时间和费用方能除去。其中有：精馏、萃取、固体吸 附、部分水解、络合等。但在工业生产中，目前应用最为广泛的是精