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- 2023-04-21 发布于北京
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本发明涉及化学镀铜技术领域，具体是涉及一种双络合体系低应力化学镀铜液及其制备方法和应用，该低应力化学镀铜液包括以下组分：络合剂25‑50g/L；铜离子1.2g‑2.2g/L；还原剂2‑8g/L；表面活性剂0.01‑1g/L；稳定剂0.01‑0.2g/L；加速剂0.001‑0.1g/L；氨基磺酸0.015‑0.2g/L；余量为去离子水；调节pH为12.5‑13；所述络合剂包括乙二胺四乙酸四钠和酒石酸钾钠两种。本发明的低应力化学镀铜液为双络合体系，稳定，线上使用周期长；同时通过加入氨基磺酸镀和稳定剂
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 113897600 A
(43)申请公布日 2022.01.07
(21)申请号 202111149926.3
(22)申请日 2021.09.29
(71)申请人 江西超洋科技有限公司
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