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光干涉测定装置及光干涉测定方法.pdfVIP

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  • 2023-04-21 发布于四川
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光干涉测定装置及光干涉测定方法.pdf

    提供一种光干涉测定技术，不使用宽频带的光源，改善了深度方向的强度特性曲线的分辨率。光干涉测定装置(1)具有：测定部(2)，使所照射的电磁波的、来自测定对象物的反射面的反射波和来自参照面的反射波干涉，获取干涉波的干涉图；以及信号处理部(8)，通过对干涉图进行傅里叶变换，构成深度方向的强度特性曲线，信号处理部(8)具有：模型参数推定部(201)，基于假设测定对象物是具有规定的构造的构造物的情况下的干涉图的模型式，对假定面数推定模型式的参数；最佳模型选择部(202)，根据应用了对假定面数推定出的参数的

    (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 113892024 A (43)申请公布日 2022.01.04 (21)申请号 202080036899.6 (74)专利代理机构 永新专利商标代理有限公司

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