1. 您所在位置：
  2. 网站首页
  3. 文档分类
  4. 行业资料
  5. 国内专利

具有低串扰的多带电粒子射束设备.pdfVIP

  • 0
  • 0
  • 约3.61万字
  • 约 32页
  • 2023-04-21 发布于四川
  • 举报

具有低串扰的多带电粒子射束设备.pdf

    公开了通过减少多射束设备中的二次带电粒子检测器的检测元件之间的串扰，来增强成像分辨率的系统和方法。多射束设备包括用于将来自样品的多个二次带电粒子射束投射到带电粒子检测器(140)上的电光系统。该电光系统包括第一预限制孔径板(155P)和射束限制孔径阵列(155)，第一预限制孔径板(155P)包括被配置为阻挡多个二次带电粒子射束的外围带电粒子的第一孔径；射束限制孔径阵列(155)包括被配置为修整多个二次带电粒子射束的第二孔径。带电粒子检测器可以包括多个检测元件(140_1、140_2、140_3)

    (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 113892163 A (43)申请公布日 2022.01.04 (21)申请号 202080039350.2 (74)专利代理机构 北京市金杜律师事务所

    您可能关注的文档

    最近下载

    文档评论（0）

    1亿VIP精品文档

    更多 >

    相关文档

    更多 >