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- 2023-04-21 发布于北京
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本发明公开一种掩模防护膜分离机构，包括支座和两个撬臂组件，该支座上具有两个沿第一方向平行设置的第一导轨，两个撬臂组件沿第一方向间隔设置在两个第一导轨上，且每个撬臂组件配置为：包括两个第一滑块和可绕支点转动的撬臂；两个第一滑块可分别沿两个第一导轨滑动位移，两个第一滑块中的至少一者与相应的第一导轨之间设置有第一锁定件，以限定相应撬臂组件在第一导轨上的工作位置；撬臂的工作端具有插配部，以与防护膜框上的侧孔适配。应用本方案，在防护膜分离取下过程中，可全程规避防护膜的下落风险；同时，基于撬臂组件可相对于支
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 113895740 A
(43)申请公布日 2022.01.07
(21)申请号 202111138818.6
(22)申请日 2021.09.27
(71)申请人 泉意光罩光电科技（济南）有限公司
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