拉曼光谱测量系统的方法、系统、和装置.pdfVIP

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2023-04-21 发布于四川
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拉曼光谱测量系统的方法、系统、和装置.pdf

本发明公开了一个基于芯片的平面拉曼光谱测量系统，它至少包括作为激发光源的半导体激光器、耦合并将激光传递出芯片的输出光波导、监测激光光功率的光探测器、耦合如到芯片的信号光输入光波导、和包括平面波导光栅(PWG)及阵列光探测器的平面光谱仪、和控制电子电路。在本发明的一些实施方式中，平面波导光栅(PWG)是固定光频率的阵列波导光栅(AWG),激光器是频率可调谐的。在其它的实施方式中，激光器的频率是固定的，平面波导光栅(PWG)或阵列波导光栅(AWG)是频率可调谐的。在任一实施方式中，频率的可调谐性保证

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 113906274 A (43)申请公布日 2022.01.07 (21)申请号 202080037817.X (74)专利代理机构广州知友专利商标代理有限

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