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一种可调控气体混合比例的多元气体混合配比装置.pdfVIP

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  • 2023-04-21 发布于四川
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一种可调控气体混合比例的多元气体混合配比装置.pdf

    本发明公开了一种可调控气体混合比例的多元气体混合配比装置，包括存气室，用于存储注入的多元气体；防回机构，贯穿设置在存气室的侧壁；通气预存机构，安装在所述存气室的顶端且与所述防回机构连接；其中，所述通气预存机构包括贯穿连接在存气室上的通入半封管、多个预存部件以及封口部件,本发明可通过预存部件，实现计量体积的气体临时预存，用以解决小体积气体的注入控制难的问题，其具体实施时，直接通过多个气通口朝防回机构内引入多种气体，之后通过封口部件封堵单个或多个气通口以控制进入防回机构内的气体种类，然后再通过预存部

    (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 113893772 A (43)申请公布日 2022.01.07 (21)申请号 202111313087.4 (22)申请日 2021.11.08 (71)申请人 理纯（上海）洁净技术有限公司

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