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- 2023-04-21 发布于四川
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本申请案涉及一种具有抬高式浮动扩散部的图像传感器。形成一种具有抬高式浮动扩散区域的像素单元以减少扩散泄漏(例如栅致漏极泄漏、结泄漏等)。所述浮动扩散区域可经由通过在半导体衬底上及掺杂浮动扩散区域下面安置中介层(例如未掺杂、轻掺杂等)分离所述掺杂浮动扩散区域与所述半导体衬底来抬高。例如，所述抬高式浮动扩散区域可由轻掺杂或未掺杂基底或中介层及重掺杂(例如As掺杂)“抬高式”层构成的堆叠式材料层形成。在一些实例中，所述堆叠式材料层可由第一及第二外延生长层形成。
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 113889492 A
(43)申请公布日 2022.01.04
(21)申请号 202110724034.5
(22)申请日 2021.06.29
(30)优先权数据
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