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- 2023-04-21 发布于四川
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公开了在衬底表面上沉积材料的方法。该方法包括使用氟反应物来降低沉积在衬底表面上的氧化硅和/或氮化硅的每循环生长速率。
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 113881930 A
(43)申请公布日 2022.01.04
(21)申请号 202110733728.5 C23C 16/40 (2006.01)
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