用于光纤预制棒OVD沉积的废气处理系统及其控制方法.pdfVIP

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  • 2023-04-21 发布于四川
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用于光纤预制棒OVD沉积的废气处理系统及其控制方法.pdf

本发明公开了一种用于光纤预制棒OVD沉积的废气处理系统,包括废气处理装置(5)、废气主管道(4)、风阀执行机构(2)、设置热量转换器(13)的旁通管道(11),所述的热量转换器(13)通过第一余热循环管(17)与余热回收机构(16)相连接、余热回收机构(16)通过第二余热循环管(19)与余热收集器(18)相连接,余热回收机构(16)、余热收集器(18)以及旁通管道(11)上的压力表(12)和旁路电动阀(10)、废气主管道(4)上的压差传感器(14)和/或温度传感器(15)、风阀执行机构(2)分别

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 113896414 A (43)申请公布日 2022.01.07 (21)申请号 202111335604.8 (22)申请日 2021.11.11 (71)申请人 江苏永鼎股份有限公司

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