一种T型BiFeO3铁电薄膜材料的制备方法.pdfVIP

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2023-04-22 发布于北京
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一种T型BiFeO3铁电薄膜材料的制备方法.pdf

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本发明公开了一种T型BiFeO3铁电薄膜材料的制备方法，通过磁控溅射的方法在LaAlO3(001)基底上形成La0.5Sr0.5CoO3薄膜底电极和T型BiFeO3薄膜，即得到T型BiFeO3铁电薄膜材料。该方法能够在底电极/基片上制备出一层T型BiFeO3薄膜，该T‑BiFeO3铁电薄膜具有外延结构，体现出极佳的保持特性和抗疲劳特性，具有广泛的应用前景。

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 113913935 A (43)申请公布日 2022.01.11 (21)申请号 202111251504.7 (22)申请日 2021.10.26 (71)申请人河北农