双转换增益图像传感器及其制作方法.pdfVIP

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  • 2023-04-22 发布于四川
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双转换增益图像传感器及其制作方法.pdf

本发明提供一种双转换增益图像传感器。该双转换增益图像传感器包括半导体衬底,该半导体衬底包括相互隔离的第一有源区和第二有源区;浮置扩散区域设置于第一有源区中;辅助电容设置于第二有源区,用于调节浮置扩散区域的转换增益;其中,在第二有源区的半导体衬底中开设有若干条沟槽,该沟槽的内表面覆盖有介电层,辅助电容的上极板覆盖介电层且填充每条沟槽,与辅助电容的上极板相对的半导体衬底作为辅助电容的下极板。辅助电容的上极板填充每条沟槽,可以提高辅助电容的电容值,从而能够满足图像传感器更大的像素满阱容量的需求,提高图

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 113937119 A (43)申请公布日 2022.01.14 (21)申请号 202111109036.X (22)申请日 2021.09.22 (71)申请人 豪威科技(上海)有限公司

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