一种高稳定性金属化薄膜制备用蒸镀装置.pdfVIP

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2023-04-22 发布于北京
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一种高稳定性金属化薄膜制备用蒸镀装置.pdf

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本发明公开了一种高稳定性金属化薄膜制备用蒸镀装置，包括蒸镀箱体，所述蒸镀箱体内壁两侧均胶接有密封板，两块所述密封板将蒸镀箱体分成出料腔、蒸镀腔和进料腔，所述蒸镀腔底侧和顶侧分别安装有加热组件和监控组件，蒸镀腔下端前侧还安装有密封门体，所述密封板下端背离蒸镀腔一侧均转动阻尼连接有旋柱，旋柱外壁均套设固定有安装套，安装套上端均固定有翻转框，所述翻转框上下侧内壁转动有夹持辊，翻转框外顶面均固定有半齿轮，所述密封板上端背离蒸镀腔一侧还转动连接有驱动杆。本发明设计合理，装置运行稳定，在蒸镀时能实现金属薄膜

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 113943925 A (43)申请公布日 2022.01.18 (21)申请号 202111357722.9 (22)申请日 2021.11.16 (71)申请人铜陵鸿盛百诚新能源科技有限公司