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本发明公开了一种多尺寸晶圆对中装置，该装置包括吸盘机构、上转板、移动板、夹紧机构、驱动机构及升降机构；吸盘机构包括承载柱及吸盘，上转板和移动板均套设在承载柱的外部；上转板上开设有传动弧形槽和驱动弧形槽；夹紧机构设置在移动板的上方，夹紧机构包括若干个夹紧组件，夹紧组件的一端安装在移动板上，夹紧组件的另一端穿设在传动弧形槽内；驱动机构包括支撑板、调节板、顶板、安装板、复位弹簧及驱动组件；升降机构包括伺服电机Ⅱ、安装架及偏心凸轮，伺服电机Ⅱ的输出端穿过安装架后与偏心凸轮相连，偏心凸轮安装在支撑板上；本
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 113921438 A
(43)申请公布日 2022.01.11
(21)申请号 202111211099.6
(22)申请日 2021.10.18
(71)申请人 麦斯克电子材料股份有限公司
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