光源在空腔中的压力控制.pdfVIP

下载本文档

0
0
约2.6万字
约 22页
2023-04-22 发布于北京
举报
版权申诉

光源在空腔中的压力控制.pdf

1、本文档内容版权归属内容提供方，所产生的收益全部归内容提供方所有。如果您对本文有版权争议，可选择认领，认领后既往收益都归您。。
2、本文档由用户上传，本站不保证质量和数量令人满意，可能有诸多瑕疵，付费之前，请仔细先通过免费阅读内容等途径辨别内容交易风险。如存在严重挂羊头卖狗肉之情形，可联系本站下载客服投诉处理。
3、文档侵权举报电话：400-050-0827(电话支持时间：9:00-18:30)。
4、该文档为VIP文档，如果想要下载，成为VIP会员后，下载免费。
5、成为VIP后，下载本文档将扣除1次下载权益。下载后，不支持退款、换文档。如有疑问请联系我们。
6、成为VIP后，您将拥有八大权益，权益包括：VIP文档下载权益、阅读免打扰、文档格式转换、高级专利检索、专属身份标志、高级客服、多端互通、版权登记。
7、VIP文档为合作方或网友上传，每下载1次，网站将根据用户上传文档的质量评分、类型等，对文档贡献者给予高额补贴、流量扶持。如果你也想贡献VIP文档。上传文档

本发明提供用于光源在空腔中的压力控制的方法及系统。一个系统包含经配置用于测量光源在空腔中的压力的气压传感器。所述系统还包含经配置用于控制所述空腔中的一或多个气体的量的一或多个气流元件。另外，所述系统包含经配置用于比较所述经测量压力与所述压力的值的预定范围且当所述经测量压力在所述预定范围之外时基于所述比较的结果更改所述一或多个气流元件中的至少一者的参数的控制子系统。

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 113950653 A (43)申请公布日 2022.01.18 (21)申请号 202080040630.5 (74)专利代理机构北京律盟知识产权代理有限