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- 2023-04-22 发布于四川
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本发明公开了一种用于安装MOCVD陶瓷螺丝的装置，包括垂直套筒、主动转杆和从动转杆，主动转杆的一端转动安装于垂直套筒的一端内并固定有主动锥齿轮，从动转杆的一端转动安装于垂直套筒的另一端内并固定有从动锥齿轮，从动锥齿轮与主动锥齿轮啮合连接，从动转杆远离垂直套筒的一端固定有用于卡固陶瓷螺丝的螺丝套筒；从动转杆上设有支撑组件，支撑组件包括滑套和握把，握把固定于滑套上，滑套套设于从动转杆上。该装置自带垂直结构，当操作员从MOCVD设备舱门的侧面安装陶瓷螺丝时，无需转动腕臂即可完成陶瓷螺丝的安装，克服了M
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 113927526 A
(43)申请公布日 2022.01.14
(21)申请号 202111062828.6
(22)申请日 2021.09.10
(71)申请人 威科赛乐微电子股份有限公司
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