优化石墨舟饱和效果的方法.pdfVIP

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2023-04-23 发布于四川
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优化石墨舟饱和效果的方法.pdf

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本发明涉及石墨舟技术领域，尤其是涉及一种优化石墨舟饱和效果的方法，包括以下步骤：a、去除旧石墨舟上氮化硅；b、水洗；c、烘干；d、进饱和炉管预热；f、抽空除残酸和水蒸气；g、重复步骤d、f两次，将预热时间改为5min；h、氮化硅高密度沉积；i、残留氮化硅吸附；j、氮化硅均匀性层；k、碳化硅保护步；l、氮化硅外层修饰硅步：m、抽真空；n、出舟。本发明提供的一种优化石墨舟饱和效果的方法，充分利用了石墨材料分子内空间较大性质；通过过量反应保证石墨舟有较好均匀性；增加石墨舟的膜厚均匀性；在里层增加了碳化

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 113981417 A (43)申请公布日 2022.01.28 (21)申请号 202111214807.1 C23C 16/32 (2006.01) (22)申请日 2