一种利用千束独立可控PPI点阵进行高通量直写的装置.pdfVIP

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2023-04-24 发布于北京
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一种利用千束独立可控PPI点阵进行高通量直写的装置.pdf

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本发明公开一种利用千束独立可控PPI点阵进行高通量直写的装置，该装置主要包含激发光和抑制光两路光，激发光路包含核心元件数字微镜阵列DMD、微透镜阵列MLA和连续变形镜DM，抑制光路包括核心元件空间光调制器SLM。本发明利用微透镜阵列MLA产生千束激发光点阵，利用高速连续变形镜DM矫正系统波前像差，实现点阵分布均匀性和光斑质量的优化，利用数字微镜阵列DMD对点阵的开关、强度进行独立调控，抑制光路通过空间光调制器SLM产生四束光，四束光在物镜焦平面干涉产生的点阵暗斑用于涡旋抑制光，与激发光点阵在物镜

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 114019766 A (43)申请公布日 2022.02.08 (21)申请号 202111266973.6 (22)申请日 2021.10.28 (71)申请人之江实验室地址 3