一种制备太阳能电池金属栅线的方法.pdfVIP

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2023-04-24 发布于北京
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一种制备太阳能电池金属栅线的方法.pdf

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本发明公开了一种制备太阳能电池金属栅线的方法，包括步骤如下：在n型硅衬底一面沉积本征非晶硅层及n型非晶硅层，另一面沉积本征非晶硅层及p型非晶硅层，并在n型非晶硅层和p型非晶硅层上沉积透明导电氧化物薄膜，在所述透明导电氧化物层上沉积阻挡层；在所述阻挡层上沉积种子层；在种子层上通过喷墨打印方式形成金属栅线图案；采用水平电镀方式，对图案区域的种子铜表面进行电镀铜、电镀锡，形成金属栅线；完成电镀栅线叠层后将掩膜层、种子层和阻挡层刻蚀干净，露出透明导电氧化物层，实现铜栅电极的制备。

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 114005889 A (43)申请公布日 2022.02.01 (21)申请号 202010730286.4 (22)申请日 2020.07.27 (71)申请人福建钧石能源有限公司