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EDS 元素分析 一、实验目得 1。了解能谱仪(ＥDS)得结构与工作原理。 2.掌握能谱仪(EDS)得分析方法、特点及应用。 二、实验原理 在现代得扫描电镜与透射电镜中,能谱仪(EＤS)就是一个重要得附件,它同主机共用一 套光学系统,可对材料中感兴趣部位得化学成分进行点分析、面分析、线分析、它得主要优 点有:(1)分析速度快,效率高,能同时对原子序数在 1 １—92 之间得所有元素 (甚至 C、N、O 等超轻元素)进行快速定性、定量分析;(2)稳定性好,重复性好;(３)能用于粗糙表面得成分 分析