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亚化学计量金属氧化物薄膜.pdfVIP

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  • 2023-04-25 发布于四川
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亚化学计量金属氧化物薄膜.pdf

    一种沉积亚化学计量金属氧化物的方法，该方法包括：选择包含金属和第一配体的第一前体；选择包含金属和第二配体的第二前体；在原子层沉积循环的第一脉冲期间将衬底(102)暴露于第一前体；在原子层沉积循环的第二脉冲期间将衬底(102)暴露于第二前体，第二脉冲在第一脉冲之后直接发生；在原子层沉积循环的第三脉冲期间将衬底(102)暴露于氧化剂。

    (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 114072537 A (43)申请公布日 2022.02.18 (21)申请号 202080049144.X (74)专利代理机构 中国贸促会专利商标事务所

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