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一种采用压阻/压电检测的微机械陀螺.pdfVIP

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  • 2023-04-25 发布于北京
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一种采用压阻/压电检测的微机械陀螺.pdf

    本发明公开一种采用压阻/压电检测的微机械陀螺，包括一组以上的杠杆耦合检测机构、驱动电容、检测质量块、外解耦机构、内解耦机构和菱形耦合机构，杠杆耦合检测机构与外解耦机构相连，外解耦机构与检测质量块相连，检测质量块与内解耦机构相连，相邻的内解耦机构之间通过菱形耦合机构相连，所述各机构和驱动电容通过各自的锚点固定。采用压阻/压电检测，有利于减小陀螺体积，提高精度；采用杠杆耦合检测机构和菱形耦合机构，提高陀螺力学环境适应性；压阻/压电检测梁与杠杆相连，提高陀螺灵敏度；杠杆两端通过外解耦合机构与检测质量块

    (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 114061556 A (43)申请公布日 2022.02.18 (21)申请号 202111556879.4 (22)申请日 2021.12.18 (71)申请人 安徽芯动联科微系统股份有限公司

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