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一种芯片压紧换热装置及冷热冲击芯片测试系统.pdfVIP

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  • 2023-04-25 发布于北京
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一种芯片压紧换热装置及冷热冲击芯片测试系统.pdf

    本发明公开一种芯片压紧换热装置及冷热冲击芯片测试系统，其中的一种芯片压紧换热装置包括与芯片直接接触的压头和用于连接压头和下压装置的压板；压头与压板之间连接有用于缓冲下压装置对芯片所施加的下压力的第一缓冲机构；第一缓冲机构的上方，压板的内部还设置有第二缓冲机构，用于对下压装置对芯片所施加的下压力进行二级缓冲；压板内开设有换热介质通道。通过采用的第一缓冲机构和第二缓冲机构的结构设计，使其自身实现两级缓冲，第一缓冲机构先对下压力进行缓冲，第二缓冲机构之后对下压力进行缓冲，由此使整个下压过程相对平缓进行

    (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 114034594 A (43)申请公布日 2022.02.11 (21)申请号 202111387072.2 (22)申请日 2021.11.22 (71)申请人 深圳市诺赛特系统有限公司

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