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动热源式双轴微机械角速度传感器及其加工方法.pdfVIP

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  • 2023-04-25 发布于北京
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动热源式双轴微机械角速度传感器及其加工方法.pdf

    本发明公开了一种动热源式双轴微机械角速度传感器及其加工方法，该双轴陀螺包括基底层、敏感层和盖板，敏感层含有中间加热腔和中间检测腔，敏感层的上表面设置有全方位振子加热器(动热源)和两对热敏电阻；全方位振子加热器(动热源)通过六个完全对称的半圆形支撑梁悬置在敏感层的中心位置；加热器的通电方式为周期式交流电；盖板上刻蚀有凹槽，且与敏感层的上表面密闭连接。本发明可实现双轴角速度的测量，灵敏度高，响应速度快，具有结构应力小、体积小、重量轻、易于智能化和集成化等特点，符合传感器朝着微小型、综合型和智能型的发

    (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 114034880 A (43)申请公布日 2022.02.11 (21)申请号 202111387670.X (22)申请日 2021.11.22 (71)申请人 北京信息科技大学 地址

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