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- 2023-04-25 发布于四川
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示例性基板处理系统可以包括限定内部容积的传输区域外壳。传输区域外壳的侧壁可以限定用于提供和接收基板的可密封进出口。所述系统可以包括设置在传输区域内的多个基板支撑件。所述系统还可以包括具有中心枢纽的传输装置，所述中心枢纽包括第一轴和与第一轴同心并且相对于第一轴可反向旋转的第二轴。传输装置可包括与第一轴耦接的第一终端受动器。第一终端受动器可以包括多个第一臂。传输装置还可包括与第二轴耦接的第二终端受动器。第二终端受动器可以包括多个第二臂，所述多个第二臂的第二臂数量等于第一终端受动器的第一臂数量。
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 114072897 A
(43)申请公布日 2022.02.18
(21)申请号 202080048665.3 (74)专利代理机构 上海专利商标事务所有限公
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