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MEMS产业发展指南 引导企业搭建数字化设计平台、全环境仿真平台和材料、工艺、失效分析数据库，基于机器学习与人工智能技术，推进关键工序数字化、网络化改造，优化生产工艺及质量管控系统，开展智能工厂建设，提升智能制造水平。 MEMS惯性传感器市场 根据Yole发布的StatusofMEMSIndustry2022，2021年世界MEMS惯性传感器市场规模约35．09亿美元，其中，2021年MEMS陀螺仪和MEMS加速度计市场规模达到15．93亿美元，占全球MEMS行业总市场规模的45．40%。 MEMS行业概述 （一）MEMS技术概述 MEMS即微机电系统（Micro-Electro-Mecha