一种检测痕量六氟化硫的装置及方法.pdfVIP

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2023-04-25 发布于四川
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一种检测痕量六氟化硫的装置及方法.pdf

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本发明提供一种检测痕量六氟化硫的装置及方法，涉及光声光谱检测技术领域。本装置包括光声腔、主控制器、电磁阀和空气泵、信号处理系统、降温风扇，其中所述声光腔包括激光器、扩束镜、声光腔腔体；声光腔腔体其中包括上下反射板、进出气口、腔体、光纤、声压传感器和温度传感器；通过光声腔的合理设计，使系统的检测灵敏度在很大程度上得到提高。能够对低浓度的六氟化硫进行检测，速度快、可靠性高、抗干扰能力强。

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 114034644 A (43)申请公布日 2022.02.11 (21)申请号 202111501167.2 (51)Int.Cl.