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- 2023-04-25 发布于四川
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一种制作包括多尖端波导的光斑尺寸转换器的方法，该多尖端波导包括第一波导部分和第二波导部分，该方法包括以下步骤：用抗蚀剂材料涂覆多层晶片，该多层晶片包括波导材料层；将所涂覆的抗蚀剂材料曝光于深紫外射束或电子束；显影抗蚀剂材料以在抗蚀剂材料内形成部分波导图案；将部分波导图案转移到波导材料层，从而形成初始波导；将第二层抗蚀剂材料放置在初始波导之上；通过将第二层抗蚀剂材料曝光于深紫外射束或电子束来在第二层抗蚀剂材料中图案化锥形间隙区域形状；以及将锥形间隙区域形状转移到初始波导的波导材料层以在初始波导内部
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 114072713 A
(43)申请公布日 2022.02.18
(21)申请号 202080047596.4 (74)专利代理机构 上海专利商标事务所有限公
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