电容结构及其制造方法.pdfVIP

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2023-04-26 发布于北京
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电容结构及其制造方法.pdf

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一种电容结构包括基板、复数个柱电容以及氧化层。柱电容位于基板的顶表面上并形成电容阵列。氧化层覆盖电容阵列的顶部与侧部以及基板的部分。柱电容沿第一方向延伸，基板的顶表面沿第二方向延伸，其中第一方向垂直于第二方向。氧化层从电容阵列的顶部沿第三方向延伸至基板，并且第一方向与第三方向之间夹一角度。如此，减少局部应力而避免掉非预期的损害。

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 114078809 A (43)申请公布日 2022.02.22 (21)申请号 202110935451.4 (22)申请日 2021.08.16 (30)优先权数据 16/995,84