坩埚喷嘴结构、坩埚装置以及蒸镀装置.pdfVIP

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2023-04-26 发布于四川
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坩埚喷嘴结构、坩埚装置以及蒸镀装置.pdf

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本发明公开了一种坩埚喷嘴结构、坩埚装置以及蒸镀装置。本发明的坩埚喷嘴结构包括固定部件、导流部件以及分流部件，固定部件具有容纳通道，固定部件用于设置在蒸镀坩埚的坩埚腔内；导流部件设置在容纳通道内并与所述固定部件连接，导流部件具有蒸镀导流孔；分流部件连接于所述导流部件并朝远离所述导流部件的一侧延伸，分流部件密封所述蒸镀导流孔的一端开口，分流部件上间隔设置有多个分流孔。本发明的坩埚装置包括蒸镀坩埚以及所述的坩埚喷嘴结构，所述蒸镀坩埚具有坩埚腔以及与所述坩埚腔连通的蒸镀口，所述坩埚喷嘴结构通过固定部件设

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 114075649 A (43)申请公布日 2022.02.22 (21)申请号 202011556549.0 (22)申请日 2020.12.24 (71)申请人广东聚华印刷显示技术有限公司