- 1、本文档共20页,其中可免费阅读19页,需付费10金币后方可阅读剩余内容。
- 2、本文档内容版权归属内容提供方,所产生的收益全部归内容提供方所有。如果您对本文有版权争议,可选择认领,认领后既往收益都归您。
- 3、本文档由用户上传,本站不保证质量和数量令人满意,可能有诸多瑕疵,付费之前,请仔细先通过免费阅读内容等途径辨别内容交易风险。如存在严重挂羊头卖狗肉之情形,可联系本站下载客服投诉处理。
- 4、文档侵权举报电话:400-050-0827(电话支持时间:9:00-18:30)。
- 5、该文档为VIP文档,如果想要下载,成为VIP会员后,下载免费。
- 6、成为VIP后,下载本文档将扣除1次下载权益。下载后,不支持退款、换文档。如有疑问请联系我们。
- 7、成为VIP后,您将拥有八大权益,权益包括:VIP文档下载权益、阅读免打扰、文档格式转换、高级专利检索、专属身份标志、高级客服、多端互通、版权登记。
- 8、VIP文档为合作方或网友上传,每下载1次, 网站将根据用户上传文档的质量评分、类型等,对文档贡献者给予高额补贴、流量扶持。如果你也想贡献VIP文档。上传文档
查看更多
实施方式提供一种能够适当地修正设置在衬底上的膜的膜厚的研磨装置及研磨方法。根据一实施方式,研磨装置具备能够保持设置有膜的衬底的第1衬底保持部。所述装置还具备能够保持第1垫的第1垫保持部。所述装置还具备第1驱动部,所述第1驱动部通过使所述第1垫在所述膜的表面平移而利用所述第1垫研磨所述膜。
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 114074286 A
(43)申请公布日 2022.02.22
(21)申请号 202110256116.1 B24B 57/02 (2006.01)
您可能关注的文档
- 具有安全装置的压缩空气射钉器.pdf
- 机动车门锁.pdf
- 纹理化网格构建.pdf
- 纳米片晶体管堆叠.pdf
- 双壳类软体动物的育种箱、柱和方法.pdf
- 用于在支持多应用的终端之间安全地传送选择性数据集的系统和方法.pdf
- 用利匹韦林治疗儿科患者的HIV的方法.pdf
- 用于由超声成像数据对针进行成像的方法和系统.pdf
- 高强度钢板及其制造方法.pdf
- 用于改进的信号完整性的消散材料.pdf
- 在省物业管理行业协会常务理事会暨2024年度工作会议上的讲话.docx
- 党委2024年民主生活会实施方案.docx
- 市人民医院纪委书记2024年度民主生活会个人对照检视发言材料.docx
- 城投公司党委副书记、总经理2024年度民主生活会领导班子对照检视发言材料.docx
- 市委书记2024年党组织书记抓基层党建工作报告.docx
- 2025年党建工作要点(通用版).docx
- 国有企业党委书记在2025年工作务虚会上的讲话.docx
- 副县级领导干部 2024 年度民主生活会对照检查材料(四个带头).docx
- 城投公司党委委员、副总经理2024年度民主生活会领导班子对照检视发言材料.docx
- 市人民医院党委副书记、副院长2024年度民主生活会个人对照检视发言材料.docx
提供农业、铸造、给排水、测量、发电等专利信息的免费检索和下载;后续我们还将提供提供专利申请、专利复审、专利交易、专利年费缴纳、专利权恢复等更多专利服务。并持续更新最新专利内容,完善相关专利服务,助您在专利查询、专利应用、专利学习查找、专利申请等方面用得开心、用得满意!
文档评论(0)