薄膜晶体管基板、薄膜晶体管基板的制造方法和显示装置.pdfVIP

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  • 2023-04-26 发布于四川
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薄膜晶体管基板、薄膜晶体管基板的制造方法和显示装置.pdf

薄膜晶体管基板、薄膜晶体管基板的制造方法和显示装置被提供。该薄膜晶体管基板包括:基板;缓冲层,在基板上;半导体层,布置在缓冲层上,并且包括第一导电区、第二导电区和在第一导电区和第二导电区之间的沟道区;第一掺杂剂,以第一浓度被掺杂在沟道区的上部中;第二掺杂剂,以第二浓度被掺杂在沟道区的下部中,并且第二掺杂剂具有与第一掺杂剂的类型不同的类型;栅极绝缘层,覆盖半导体层;以及栅电极,在平面图中与沟道区重叠,并且设置在栅极绝缘层上。

(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 115996602 A (43)申请公布日 2023.04.21 (21)申请号 202211263207.9 H10K 71/00 (2023.01) (22)申请日 2022.10.

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