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本发明提供了一种硅片的清洗方法，所述清洗方法包括以下步骤：依次对硅片进行酸洗、第一清洗液清洗以及含有制绒添加剂的第二清洗液清洗；所述清洗方法在常规清洗的基础上进一步采用含有绒添加剂的清洗液进行清洗，可完全除去表面油污，提升清洗效果，使清洗良率达100％，从而提升产品合格率，减少返工比例；所述清洗方法流程简单，适用于工业生产。
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 114141608 A
(43)申请公布日 2022.03.04
(21)申请号 202111422029.5
(22)申请日 2021.11.26
(71)申请人 横店集团东磁股份有限公司
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