一种基于带宽增强型FBAR滤波器的制造方法.pdfVIP

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2023-04-27 发布于北京
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一种基于带宽增强型FBAR滤波器的制造方法.pdf

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本发明提供了一种基于带宽增强型FBAR滤波器的制造方法。在基体上预先刻蚀出呈对称排布的空腔矩阵；在所述空腔矩阵内通过沉积二氧化硅，并涂覆铌酸锂晶体薄膜，构成布拉格反射层；在所述布拉格反射层上方设置呈盖状的底电极，覆盖每个空腔，并在所述底电极上设置有与所述底电极材质相同的支撑柱；在相邻的底电极之间进行氧化锌直流磁控溅射，构成氧化锌层；其中，所述氧化锌层的填充高度不超过所述盖状的底电极的上盖面；在所述氧化锌层上进行制备介电层；其中，所述介电层通过氮化铝沉积填充构成；在所述介电层上通过直流磁控溅射镀膜

(19)国家知识产权局 (12)发明专利 (10)授权公告号 CN 114157259 B (45)授权公告日 2022.05.20 (21)申请号 202210123142.1 CN 112087217 A,2020.12.15 (22)申请日 20