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混合气产业发展意见 攻克一批关键核心技术，发明专利拥有量年均增速达到15%以上，建成一批重大产业技术创新平台，产业创新能力跻身世界前列，在若干重要领域形成先发优势，产品质量明显提升。节能环保、新能源、生物等领域新产品和新服务的可及性大幅提升。知识产权保护更加严格，激励创新的政策法规更加健全。 电子特种气体发展情况与未来发展趋势 （一）电子特种气体行业在新技术方面发展情况与未来发展趋势 在5G，人工智能，物联网等带动下，集成电路制造技术发展从摩尔定律到超越摩尔发展。逻辑芯片技术节点从传统0．35um开始延伸到3nm特征尺寸，预计到2025年实现1．5nm技术突破；三维闪存芯片制造技术从32层发