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本申请公开了一种仿真控制方法、设备及系统。其中,仿真控制方法包括:建立基准时间序列和晶圆生产列表;基准时间序列包括顺序排列的多个时间元素;任意两个相邻的时间元素的时间差为第一预设时长阈值;晶圆生产列表包括顺次排列的多个已投产批次的生产信息;每间隔第二预设时长阈值,按照时间先后顺序从基准时间序列中获取一个时间元素,并基于从基准时间序列中获取的时间元素,确定即时模拟时间;对任一确定的即时模拟时间,在下次重新确定之前执行以下步骤:将即时模拟时间与晶圆生产列表中的各个宣告时间逐一比较,并根据比较的结果,
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 114169270 A
(43)申请公布日 2022.03.11
(21)申请号 202210019979.1
(22)申请日 2022.01.10
(71)申请人 长鑫存储技术有限公司
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