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本发明提供一种MoNb靶材EBSD检测的制样方法,所述MoNb靶材EBSD检测的制样方法包括如下步骤:(1)MoNb靶材经切割,得到切割后样品;(2)步骤(1)所述切割后样品经机械抛光,得到抛光后样品;(3)步骤(2)所述抛光后样品经电解液电解抛光1~3min,得到待测样品;所述电解液按质量分数计含有56~73wt%的甲醇和27~44wt%的2‑丁氧基乙醇。所述制样方法能够得到表面平坦无划痕的样品,经EBSD检测后衍射菊池带清晰,能够清楚的分别纯Mo相和纯Nb相,标定率可达80%以上,结果准确。
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 114152638 A
(43)申请公布日 2022.03.08
(21)申请号 202111433046.9
(22)申请日 2021.11.29
(71)申请人 宁波
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