一种接触式光谱共焦装置.pdfVIP

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本发明公开一种接触式光谱共焦装置,包括:光孔径、色散部、反射表面以及接触部,光源发出多个波长的光从光孔径通向色散部,色散部将光色散使得不同波长的色散光聚焦在不同的点,反射表面将聚焦到其上的波长的光反射回去,光测量部接收反射表面反射的光进行测量或表征,待测量或表征的位移量通过接触部带动反射表面或色散部中的至少一个运动,使得反射表面和色散光产生相对运动,实现光谱共焦色散光测量或表征接触位移量。本装置实现将接触式位移转换成非接触位移并被光谱共焦测量到,可以接触式地测量或表征被测位移,减少油、水、粉尘等

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 114199137 A (43)申请公布日 2022.03.18 (21)申请号 202111508881.4 (22)申请日 2021.12.10 (71)申请人 深圳立仪科技有限公司

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