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PAGE PAGE 1 掺铝氧化锌薄膜的光学性能研究 掺铝氧化锌薄膜具有优异的光学性能，适用于透明电子设备、太阳能电池、平板显示器等领域。本文以磁控溅射法制备的掺铝氧化锌薄膜为研究对象，分析其光学性能。 首先，采用紫外可见分光光度计对掺铝氧化锌薄膜的透射率进行测试。结果显示，在可见光波长范围内，掺铝氧化锌薄膜的透射率随着掺杂量的增加而降低。这是因为掺杂铝使晶格结构出现缺陷，增加晶格阻抗，导致透射率下降。同时，随着薄膜厚度的增加，透射率也随之降低。这是因为光在薄膜中的传播受到增加的杂质和阻尼的影响。 其次，利用椭偏仪对掺铝氧化锌薄膜的折射率进行测试。结果显示，掺铝氧化锌薄膜的折射率随着掺