RM 8111原型线宽标准的开发.pdfVIP

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2023-05-02 发布于四川
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RM 8111原型线宽标准的开发.pdf

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Volume 111, Number 3, May-June 2006 Journal of Research of the National Institute of Standards and Technology [J. Res. Natl. Inst. Stand. Technol. 111, 187-203 (2006)] RM 8111: Development of a Prototype Linewidth Standard Volume 111 Number 3 May-June 2006 Michael W. Cresswell, William Staffs of the Semiconductor Electronics referenced to high-resolution transmission- F. Guthrie, Ronald G. Dixson, Division, the Information Technology electron microscopy images that reveal Laboratory, and the Precision Engineering the cross-section counts of lattice planes Richard A. Allen, Christine E. Laboratory at NIST, have developed a new having a pitch whose value is traceable to Murabito, and J. V. Martinez generation of prototype Single-Crystal the SI meter. De Pinillos CD (Critical Dimension) Reference (SCCDRM) Materials with the designation National Institute of Standards RM 8111. Their intended use is calibrating and Technology, metrology instruments that are used in Key words: AFM; calibration; CD; Gaithersburg, MD 20899 semiconductor manufacturing. Each dimensional standards; HRTEM; lattice- reference material is configured as a plane selective etch; linewidth; metrology;