X光电子能谱的学习材料.pptxVIP

X光电子能谱的学习材料;表面特点： 固体表面的物理和化学组成和原子排列常常与体相不同 由于表面向外一侧没有临近原子，表面原子有一部分化学键伸向空间(形成悬挂键) ，因此表面具有活泼的化学性质 表面原子的电子状态也和体内不同，使表面具有一些特殊的力学，光学，电磁，电子和化学性质。特别是纳米材料更为显著。 表面重要性： 当固体与任意另一相作用时，首先接触的是表面原子 表面性质不同于体相性质; 与表面性质有关的现象: 腐蚀、粘接、吸附、催化、浸润性、电极表面反应… 表面性质的重要性→表面分析的重要和必要性 表面分析技术: 根据荷能粒子与表面的相互作用，通过分析荷能粒子状态的变化、角度分布，以及从表面出来的二次粒子等，可以探测表面的成分与化合态。;1. X射线光电子能谱 (XPS) 50% (X-Ray Photoelectron Spectroscopy) 2. 俄歇电子能谱 (AES) 40% (Auger Electron Spectroscopy) 3. 二次离子质谱 (SIMS) 8% Secondary ion mass spectroscopy 4. 低能离子散射能谱 (ISS) Low energy ion scattering spectroscopy;;（X射线光电子能谱）;（俄歇电子能谱）;（二次离子质谱）;（低能离子散射能谱）;第10页/共129页;;K.Siegbahn给这种谱仪取名为化学分析电子能谱(Electron Spectroscopy for Chemical Analysis)，简称为“ESCA”，这一称谓仍在分析领域内广泛使用。授予1981年诺贝尔物理学奖 随着科学技术的发展，XPS也在不断地完善。目前，已开发出的小面积X射线光电子能谱，大大提高了XPS的空间分辨能力。 ;主要测试设备： 美国PHi5000系列，及Qutum2000系列 英国VG公司ESCALab 2000系列 Kratos公司的XSAN800系列 日本岛津ESCA-850系列;; X-射线光电子能谱仪主要由激发源、电子能量分析器、探测电子的检测器和真空系统等几个部分组成。;XPS总图;进样室;样品调整台;样品室;观察显微镜;X-ray源;X-ray射线源结构图; X射线源是用于产生具有一定能量的X射线的装置，在目前的商品仪器中，一般以Al/Mg双阳极X射线源最为常见。 作为X射线光电子谱仪的激发源，希望其强度大、单色性好。 同步辐射源是十分理想的激发源，具有良好的单色性，且可提供10 eV~10 keV连续可调的偏振光。; 一般采用AlKα（1486.6 ev）和MgKα（1253.7 ev） （双阳极靶）;电子能量分析器 其作用是探测样品发射出来的不同能量电子的相对强度。它必须在高真空条件下工作即压力要低于10-3帕，以便尽量减少电子与分析器中残余气体分子碰撞的几率。; XPS分析方法的基础是精确测定样品中束缚电子的结合能值，以获得样品中的元素及其化学状态的信息。 ;电子能谱的基本原理;对固体样品，必须考虑晶体势场和表面势场对光电子的束缚作用，通常选取费米(Fermi)能级为 的参考点。;功函数;;;;;;l为角量子数：它决定电子云的几何形状，不同的l值将原子内的电子壳层分成几个亚层，即能级。l 值与n有关，l=0、1、2、…、(n-1)。并且分别以s (l=0)，p (l=1)，d (l=2)，f (l=3) ，…表示。当n＝1时，l＝0；n＝2，则l＝0，1。 依此类推。在给定壳层的能级上，电子的能量随l值增加稍有增加。;;;原子轨道的符号表示： 原子中内层电子的运动状态可以用描述单个电子运动状态的四个量子数来表征。电子能谱实验通常是在无外磁场作用下进行的，磁量子数ml是简并的，所以在电子能谱研究中，通常用n、l、j三个量子数来表征内层电子的运动状态。;;;;;;;;;;;;;;四、样品的制备;在实验过程中样品必须通过传递杆，穿过超高真空隔离阀，送进样品分析室。因此，样品的尺寸必须符合一定的大小规范。 对于块体样品和薄膜样品，其长宽最好小于10 mm, 高度小于5 mm。 对于体积较大的样品则必须通过适当方法制备成合适大小的样品。 但在制备过程中，必须考虑到处理过程可能会对表面成分和状态的影响。;2. 粉体样品;3. 挥发性材料;4. 污染样品;5. 带有磁性的材料;6. 离子束溅射技术 ;离子束溅射技术;;7. 样品的荷电及