化学合成气相沉积.pptxVIP

化学合成气相沉积;;纳 米 粒 子 制 备 方 法;纳 米 粒 子 制 备 方 法;6.1 气相法制备纳米微粒;气相法的加热源 1. 电阻加热：主要是进行低熔点金属（ Ag、Al、Cu、Au等）的蒸发，产量小，常用于研究 2. 高频感应加热：粒子粒径均匀、产量大，高熔点低蒸气压物质的纳米微粒(W、Ta、Mo等)难制备 3. 激光加热：不受蒸发物质的污染，适于制备高熔点的金属纳米粒子以及各种氧化物、碳化物和氮化物等 4. 电子束加热：可制备高熔点金属以及相应的氧化物、碳化物、氮化物等纳米粒子，通常在高真空中使用 5. 微波加热：加热速度快且均匀，节能高效，易于控制，但不适用于金属材料 6. 电弧加热：有气中电弧和真空电弧两种;6.1.1 物理气相沉淀法(PVD);2.氢电弧等离子体法：微粒的生成量随等离子气体中的氢气浓度增加而上升，已制备出三十多种纳米金属（等离子体温度高）和合金，也有部分氧化物，但是要克服等离子体喷射的射流将金属熔融物质本身吹飞的技术难题 3.溅射法：不需要坩锅，靶材料蒸发面积大，可制备多种金属纳米微粒及多组元的化合物纳米微粒 4.通电加热蒸发法 ：通过碳棒与金属相接触，通电加热使金属熔化，金属与高温碳素反应并蒸发形成碳化物超微粒子，但是高熔点金属只能得到非晶态纳米微粒(熔点比碳棒高) 5.流动液面上真空蒸度法 ：制备Ag，