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2023-05-04 发布于北京
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一种处理系统，其是将来自加工光源的加工光照射至物体的至少一部分而对所述物体进行加工处理的处理系统，包括：合成光学系统，将来自测量光源的测量光的光路与来自所述加工光源的所述加工光的光路合成；照射光学系统，将来自所述合成光学系统的所述加工光及所述测量光照射至所述物体；位置变更装置，变更所述物体与来自所述照射光学系统的所述加工光的聚光位置之间的相对位置关系；光接收装置，经由所述照射光学系统来接收通过照射至所述物体的表面的所述测量光而产生的光；及控制装置，使用来自所述光接收装置的输出，来控制所述位置变更

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 114222641 A (43)申请公布日 2022.03.22 (21)申请号 202080057800.0 (74)专利代理机构北京同立钧成知识产权代理