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本发明是一种去除铝基材表面的氟化物的清洗方法，包括以下步骤：a来货检查；b纯水浸泡；c异丙醇擦拭；d第一次表面喷砂；e第一次高压水洗；f硝酸和氢氟酸清洗；g纯水浸泡；h表面研磨；i第二次表面喷砂；j表面检查；k第二次高压水洗。本发明使用物理喷砂可以去除表面沉积的氟化物，并减少部件的损耗；使用硝酸和氢氟酸浸泡部件，可以去除部件表面玷污的微量金属；使用表面研磨加表面喷砂处理的方式，可以使部件表面的平面度及粗糙度的均匀性更好；使用超声波清洗和超纯氮气清扫部件表面，可以有效减少表面的颗粒污染物。
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 114211405 A
(43)申请公布日 2022.03.22
(21)申请号 202111549879.1 B08B 3/12 (2006.01)
(22)申请日 20
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