一种防倒灌的半导体尾气的处理装置.pdfVIP

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2023-05-04 发布于北京
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一种防倒灌的半导体尾气的处理装置.pdf

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本发明公开了一种防倒灌的半导体尾气的处理装置，包括，尾气管道，用于排出尾气，尾气水洗机构，设置在所述尾气管道内部，并用于对尾气水洗处理，所述尾气水洗机构包括多工位进气装置、多工位水洗装置和升降装置，本发明利用多工位水洗装置将水洗液分成多份填充在多工位中，并通过多工位进气装置将尾气分割成多份通入多工位水洗装置内部对应的区域，使得水洗液与尾气完全且有效接触，既避免了水洗液发生浪费，且保证了尾气的处理效果，其次通过升降装置调整多工位进气装置和多工位水洗装置之间的相对位置，调整多工位进气装置通入的尾气在

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 114247279 A (43)申请公布日 2022.03.29 (21)申请号 202111613291.8 (22)申请日 2021.12.27 (71)申请人理纯（上海）洁净技术有限公司