凸起织构用光致抗蚀干膜掩模的喷砂加工装置及其加工方法.pdfVIP

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2023-05-04 发布于北京
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凸起织构用光致抗蚀干膜掩模的喷砂加工装置及其加工方法.pdf

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本发明提供一种涉及磨料喷射加工技术领域的凸起织构用光致抗蚀干膜掩模的喷砂加工装置及其加工方法，包括喷砂机箱体，气源装置，磨料供应及回收装置，磨料喷嘴，工件装夹工作台等。加工所述凸起织构时，先将光致抗蚀干膜(简称干膜)与工件表面进行紧密贴合，后利用光刻工艺在工件表面制备出具有通孔结构的干膜模板，利用压缩空气将磨料通过喷嘴喷射在工件表面，工件表面裸露的区域由于磨料的撞击和抛磨作用而被去除，被干膜模板保护的区域留下。本发明不仅具备无机械切削力、加工无热影响区、材料作用范围广、加工效率高等优势，同时利用

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 114260825 A (43)申请公布日 2022.04.01 (21)申请号 202111591152.X (22)申请日 2021.12.23 (71)申请人上海交通大学地址