基于穆勒矩阵的硅片反射光偏振应力检测装置及方法.pdfVIP

下载本文档

2
0
约7.81千字
约 7页
2023-05-04 发布于北京
举报
版权申诉

基于穆勒矩阵的硅片反射光偏振应力检测装置及方法.pdf

1、本文档共7页，其中可免费阅读6页，需付费10金币后方可阅读剩余内容。
2、本文档内容版权归属内容提供方，所产生的收益全部归内容提供方所有。如果您对本文有版权争议，可选择认领，认领后既往收益都归您。
3、本文档由用户上传，本站不保证质量和数量令人满意，可能有诸多瑕疵，付费之前，请仔细先通过免费阅读内容等途径辨别内容交易风险。如存在严重挂羊头卖狗肉之情形，可联系本站下载客服投诉处理。
4、文档侵权举报电话：400-050-0827(电话支持时间：9:00-18:30)。
5、该文档为VIP文档，如果想要下载，成为VIP会员后，下载免费。
6、成为VIP后，下载本文档将扣除1次下载权益。下载后，不支持退款、换文档。如有疑问请联系我们。
7、成为VIP后，您将拥有八大权益，权益包括：VIP文档下载权益、阅读免打扰、文档格式转换、高级专利检索、专属身份标志、高级客服、多端互通、版权登记。
8、VIP文档为合作方或网友上传，每下载1次，网站将根据用户上传文档的质量评分、类型等，对文档贡献者给予高额补贴、流量扶持。如果你也想贡献VIP文档。上传文档

本发明公开了一种基于穆勒矩阵的硅片反射光偏振应力检测装置及方法，包括连续激光器、扩束镜、偏振片、分光镜1/4波片片、CCD、二维平移台、PC机组成。所述激光器为1550nm连续激光器，输出的连续激光先后通过扩束镜和偏振片进入分光镜，分光镜的反射光经过波片后垂直射入样品，样品的反射光先后通过波片、分光镜和偏振片最终进入CCD，CCD拍得样品偏振图像并送入PC机，进行灰度处理、穆勒矩阵计算、中值滤波后得到相位差图像。根据分析滤波后相位差图像，分析样品内部的应力情况。

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 114252185 A (43)申请公布日 2022.03.29 (21)申请号 202111478359.6 (22)申请日 2021.12.06 (71)申请人南京理工大学地址