1. 您所在位置：
  2. 网站首页
  3. 文档分类
  4. 行业资料
  5. 国内专利

一种碳掺杂化学气相沉积钨涂层的装置.pdfVIP

  • 5
  • 0
  • 约1.39万字
  • 约 12页
  • 2023-05-05 发布于四川
  • 举报

一种碳掺杂化学气相沉积钨涂层的装置.pdf

    本发明涉及化学气相沉积技术领域，特别涉及一种碳掺杂化学气相沉积钨涂层的装置，包括相连通的活化回收炉和沉积炉，活化回收炉内设有活化区及活化区周侧的尾气回收区；活化区的一端连接有第一进气管，活化区的另一端通过活化管路与沉积炉的进气端相连接；尾气回收区的一端分别与回收管路和第四进气管相连接，尾气回收区的另一端与尾气处理机构相连接，回收管路与沉积炉的排气端相连接；沉积炉内设有气体混合装置及沉积平台，气体混合装置分别与活化管路、第二进气管和第三进气管相连接；活化回收炉和沉积炉内均设有加热装置，在加热装置的

    (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 114293173 A (43)申请公布日 2022.04.08 (21)申请号 202111555171.7 (22)申请日 2021.12.17 (71)申请人 厦门

    您可能关注的文档

    最近下载

    文档评论（0）

    1亿VIP精品文档

    更多 >

    相关文档

    更多 >