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带电粒子束装置及调整方法.pdfVIP

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  • 2023-05-05 发布于四川
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带电粒子束装置及调整方法.pdf

    本发明提供了一种带电粒子束装置及调整方法，所述装置包括：第一聚焦透镜和第二聚焦透镜对带电粒子束进行聚焦；第一偏转电极用于使所述带电粒子束偏转并能到达所述第二聚焦透镜的出口孔的所有区域，以获取所述第二聚焦透镜的出口孔的图像；计算单元根据所述第二聚焦透镜的出口孔的图像，确定所述第二聚焦透镜的中心位置；调节系统基于所述第二聚焦透镜的中心位置，将所述带电粒子束的中心位置、所述第一聚焦透镜的中心位置调节至所述第二聚焦透镜的中心位置所在的竖直线上。本发明通过确定所述第二聚焦透镜的中心位置来调节所述带电粒子束

    (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 114300325 A (43)申请公布日 2022.04.08 (21)申请号 202111632281.9 (22)申请日 2021.12.28 (71)申请人 上海精测半导体技术有限公司

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